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Tese de Mestrado Integrado em Engenharia Electrotécnica e de Computadores

Electrical characterization and interpretation of MEMS Microphones with spring suspended backplates

Student: Ana Mafalda Monteiro Oliveira Cortez
Student No.: 200303235
Supervisors: José Alberto Peixoto Machado da Silva
 
Status: Concluído
Since: 21-JUL-2009
 
Start: 15-SET-2008
Defence: 21-JUL-2009
   
Thesis Title: Electrical characterization and interpretation of MEMS Microphones with spring suspended backplates
Provisional Title: Design, simulation, and electrical characterization of mechanically moving components (MEMS) in SOI

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José Machado Da Silva Vogal
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