Código: | F4022 | Sigla: | F4022 | Nível: | 400 |
Áreas Científicas | |
---|---|
Classificação | Área Científica |
OFICIAL | Física |
Ativa? | Sim |
Unidade Responsável: | Departamento de Física e Astronomia |
Curso/CE Responsável: | Mestrado em Física |
Sigla | Nº de Estudantes | Plano de Estudos | Anos Curriculares | Créditos UCN | Créditos ECTS | Horas de Contacto | Horas Totais |
---|---|---|---|---|---|---|---|
M:F | 4 | Plano de Estudos Oficial | 1 | - | 3 | 34 | 81 |
MI:EF | 17 | Plano estudos a partir do ano letivo 2017/18 | 4 | - | 3 | 34 | 81 |
Objectivos
Saber responder a questões qualitativas e quantitativas sobre salas limpas e técnicas de micro e nanofabricação
Efetuar a conceção e o planeamento de experiências.
Conduzir pesquisas de literatura, incluindo análise crítica de artigos técnicos, e expressão oral e escrita.
Desenvolver miniprojectos com temática bem definida.
Competências Principais:
aplicar conhecimentos de matemática, ciências e engenharia;
concepção, condução de experiências, análise e interpretação crítica de dados;
trabalhar em equipas multidisciplinares;
identificar, formular e resolver problemas de engenharia;
identificar processos e/ou sistemas materiais para atingir determinadas especificações;
técnicas modernas e ferramentas de física e de engenharia;
aptidões de apresentação e comunicação
• Caraterísticas gerais e especificações de salas limpas. Modo de funcionamento e sistemas de apoio. Regras gerais de funcionamento e segurança.
• Fabricação de filmes finos por “ sputtering”, evaporação térmica, feixes de eletrões e iões, e por “Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition” (PECVD).
• Microlitografia: produção de máscaras por litografia de contacto e escrita direta a laser.
• Microestruturação em plasma reativo (“dry-etching”). Micromaquinação de silício em solução (“wet-etching”).
• Técnicas de caraterização: ótica e perfilometria.
• “Wire bonding”. Corte e polimento de substratos e de dispositivos.
• Fabricação de um microdispositivo funcional.
O ensino desta unidade curricular é baseado numa aproximação do tipo de resolução de problemas. Os estudantes, baseados nos conhecimento técnicos adquiridos através da leitura dos artigos científicos e ou documentos técnicos fornecidos, planeiam a experiência a efetuar, sendo apoiados pelo docente. O docente apoiará ainda os estudantes na realização da experiência e na análise crítica dos resultados. O docente deverá ainda debater com os estudantes quais os resultados mais relevantes e que deverão ser alvo de uma análise mais detalhada.
Designação | Peso (%) |
---|---|
Participação presencial | 10,00 |
Prova oral | 45,00 |
Trabalho escrito | 45,00 |
Total: | 100,00 |
Designação | Tempo (Horas) |
---|---|
Estudo autónomo | 47,00 |
Frequência das aulas | 34,00 |
Total: | 81,00 |
A avaliação consiste em três componentes distintas: avaliação contínua (10%), ensaio individual (45%) apresentação oral do ensaio efetuado e questões orais sobre técnicas de micro e nanofabricação(45%)
Classificação mínima de 7,0/20 valores em cada componente com valorização acima de 30%.