Código Oficial: | 5552 |
Sigla: | PRODEF |
Esta unidade curricular está focada nos aspetos científicos e tecnológicos relacionados com técnicas de micro e nanofabricação numa perspetiva de aproximação do tipo “bottom-down”. Os estudantes irão adquirir conhecimentos gerais sobre salas limpas e respetivas infraestruturas de apoio, bem como nas diversas técnicas de micro/nanofabricação, nas quais se incluem fotolitografia, deposição e erosão em plasma reativo. A discussão sobre aspetos físico/químicos subjacentes às diferentes técnicas será apresentada e discutida. Numa fase mais avançada os alunos abordarão questões relacionadas com a fabricação de micro/nanodispositivos funcionais para diversas aplicações, tais como MEMS (Micro ElectroMechanical Systems), ótica integrada e microfluídica