A Pull-in Based Test Mechanism for Device Diagnostic and Process Characterization

• Tipo: Artigo em Revista Científica Internacional
• Data: 2008

Autores

L. A. Rocha (Autor) FEUP; L. Mol (Autor) Outra; E. Cretu (Autor) Outra; R. F. Wolffenbuttel (Autor) Outra; J. Machado da Silva (Autor) FEUP

Revista

Título: VLSI Design

Vol. 2008 Nº 283451

Páginas: 1-7

ISSN: 1065-514X

Editora: HINDAWI PUBLISHING CORPORATION

Indexação

Scopus - 13 Citações

INSPEC

COMPENDEX

Classificação Científica

FOS: Ciências da engenharia e tecnologias > Outras ciências da engenharia e tecnologias

Outras Informações

ID Authenticus: P-007-M4M

DOI: 10.1155/2008/283451

Abstract (EN): A test technique for capacitive MEMS accelerometers and electrostatic microactuators, based on the measurement of pull-in voltages and resonance frequency, is described. Using this combination of measurements, one can estimate process-induced variations in the device layout dimensions as well as deviations from nominal value in material properties, which can be used either for testing or device diagnostics purposes. Measurements performed on fabricated devices con¿rm that the 250 nm overetch observed on SEM images can be correctly estimated using the proposed technique.

Idioma: Inglês

Tipo (Avaliação Docente): Científica