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Auto-calibrated capacitive MEMS accelerometer

Título

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Tipo

Artigo em Livro de Atas de Conferência Internacional

Data

2008

Título

Auto-calibrated capacitive MEMS accelerometer

Tipo

Artigo em Livro de Atas de Conferência Internacional

Ano

2008

Autores

L. A. Rocha

(Autor)

FEUP

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Lukas Mol

(Autor)

FEUP

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Edmond Cretu

(Autor)

FEUP

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Reinoud F. Wolffenbuttel

(Autor)

FEUP

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José Machado da Silva

(Autor)

FEUP

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Ata de Conferência Internacional

Título: 14th IEEE International Mixed-Signals, Sensors and Systems Test Workshop - IMSTW 2008 Pesquisar Publicações da Ata de Conferência

Páginas: 1-4

14th IEEE International Mixed-Signals, Sensors and Systems Test Workshop - IMSTW 2008

Vancouver, Canada, 18 a 20 de Junho de 2008

Classificação Científica

FOS: Ciências da engenharia e tecnologias > Outras ciências da engenharia e tecnologias

Outras Informações

Abstract (EN): An electronic calibration technique for capacitive MEMS accelerometers based on the measurement of pull-in voltages is described. A combination of pull-in voltages and resonance frequency measurements can be used for the estimation of processinduced variations in device dimensions from layout and deviations in material properties from nominal value, which enables auto-calibration. Measurements on fabricated devices confirm the validity of the proposed technique and electronic calibration is experimentally demonstrated.

Idioma: Inglês

Tipo (Avaliação Docente): Científica

Nº de páginas: 4

Tipo de Licença:

Documentos